配管部材
「LAVシリーズ」 フッ素樹脂製大口径エアーバルブ
・接液部には全てふっ素樹脂を使用し、ベローズ・本体一体構造。
・スラッジなどが残留しにくい構造。
・弁リフター上下摺動部無し。
・省スペースバルブ 。
配管部品
フッ素樹脂の加工と半導体での使用条件や要求を理解し、自社で配管パーツを開発。
弊社の装置共に半導体分野で長年に渡る実績と共に信頼もご提供。
各種、グレード・仕様を取り揃えております。
ご仕様環境により最適製品をご提案を致します、お問い合わせ下さい。
薬液サンプリングバルブ
・接液部が全てフッ素樹脂で、滞留部が少ないコンパクトな構造。
・現在ご使用の配管にも簡単に取り付け可能。
・マニュアルパイプとエアー駆動式タイプをご用意。
・メインポートの流れを止めることなくサンプリングが可能。
