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DUPRA

DUPRA

(DUPRA®はダイキン工業株式会社の登録商標です。)

Daikin Ultra Pure Rubber Arts - DUPRA -

DUPRA®とは

DUPRA®は、ダイキングループの東邦化成が提供するパーフルオロエラストマー(FFKM)です。

パーフルオロエラストマーは、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)と同様に、耐熱性、耐薬品性、非粘着性、耐候性等の多くの優れた性能を有します。

パーフルオロエラストマーのポリマー骨格は、炭素とフッ素(C-F)から構成されており、一般的な有機化合物の骨格である炭素と水素(C-H)の結合エネルギーよりも高く、安定しているため、外部からのあらゆるエネルギーに対して高い耐性を示します。


※エラストマーとは、構成するポリマー同士を架橋させる事で、弱い力で変形し力を除いた後、急速にほぼ元の形状寸法に戻る性質を持つ高分子材料を示します。

耐熱性、耐薬品性、耐ガス性、低放出ガス性、クリーン性、耐プラズマ性

DUPRA®の製品ラインナップ

推奨プロセス 熱プロセス
Oxidation/Diffusion
プラズマプロセス
CVD/Etching/Ashing
洗浄プロセス
Wet
製品ラインアップ DU351 DU353(E) DU551 DU3R1(E) DU341 DU354
特徴 標準 耐熱性 超耐熱性 プラズマ耐性 フッ素
ラジカル耐性
薬液耐性
外観 DU351の商品写真 DU353(E)の商品写真 DU551の商品写真 DU3R1(E)商品写真 DU341商品写真 DU354商品写真
連続使用耐熱温度(目安) [℃] 290 295 300 295 295 290
耐熱温度(目安) [℃] 310 310 330 305 305 300
硬さ(1)《 ShoreA》 74 77 75 74 72 75
引張強さ(2) [MPa] 19.0 18.6 17.5 15.0 14.0 16.1
破断時伸び(2) [%] 200.0 205.0 170.0 260.0 250.0 205.0
100%モジュラス(2) [MPa] 5.2 6.0 7.4 5.2 2.6 6.0
圧縮永久
ひずみ(3)
250℃,70 時間後 [%] 10 8 8 12 10 32
300℃,70 時間後 [%] 30 24 18 33 30 -
オプション 低固着グレード - - - -
(1)JIS K 6253-1 準拠
(2)JIS K 6251 準拠ダンベル試験
(3)JIS K 6262 準拠 AS568-214 O-ring 25%(室温時)O-ring 評価

DUPRA®各品番の特徴

品番 特徴
DU351 フッ素ゴム(FKM)を凌ぐ耐熱・耐薬品性能を有する。
金属含有量の極めて少ないDUPRA® の標準品番。
DU353(E) 熱プロセスにおける標準品番。
FFKM の中でも、優れた耐熱性・耐ガス性を発揮する。
DU551 超耐熱品番。DU353(E)の性能を維持した上で、耐熱性が向上。
FFKM の中で、トップクラスの耐熱性能を発揮する。
DU3R1(E) プラズマプロセスの標準品番。
酸素、フッ素プラズマに対する重量変化、発塵が少ない。
DU341 フッ素系ラジカル耐性が高く、プラズマプロセスにおいて、
最高のパフォーマンスを発揮する。
DU354 洗浄プロセス向けの品番。
強酸・強アルカリなどの薬液に対して優れた耐性を有し、金属溶出が極めて少ない。

DUPRA®用途別選定表

プロセス シール材周辺環境 推奨品番
温度 ガス種
熱プロセス 耐熱性 LPCVD
Oxidation
Diffusion
Lamp Anneal
ALD
25〜300℃ O2, H2O, H2O2, O3
NH3, SiH4, N2, HCI,
NF3, CIF3, F2, HF, etc
DU551
DU353(E)
DU351
プラズマプロセス 耐プラズマ性 HDPCVD
PECVD
MetalCVD
Etching
Ashing
25〜250℃ CF4, O2, HBr, Cl2,
NH3, SiH4, H2O,
Vaper, TEOS, NF3,
CIF3, F2, HF, etc
DU341
DU3R1(E)
DU353(E)/DU551
洗浄プロセス 耐薬品性 Cleaning
Etching
Stripping
25〜180℃ SC-1, SC-2, O3, HF,
H2SO4, H2OVaper,
IPA, H2O2, NH3,
Hydroxilamine etc
DU354